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CL-2400非接觸式測(cè)厚儀及外圍設(shè)備

非接觸式測(cè)厚儀及外圍設(shè)備

型    號(hào): CL-2400
報(bào)    價(jià):
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非接觸式高精度測(cè)量微小位移傳感器(間隙檢測(cè)器),根據(jù)檢測(cè)方法的不同,有電容式及渦電流式兩種,共13種傳感器,用戶可以根據(jù)被測(cè)對(duì)象或被測(cè)物形狀的不同,選用Z合適的傳感器

  • 產(chǎn)品描述

非接觸式測(cè)厚儀及外圍設(shè)備

非接觸式高精度測(cè)量微小位移傳感器(間隙檢測(cè)器),根據(jù)檢測(cè)方法的不同,有電容式及渦電流式兩種,共13種傳感器,用戶可以根據(jù)被測(cè)對(duì)象或被測(cè)物形狀的不同,選用zui合適的傳感器。另外,與變換器及顯示器配套,可組成zui合適的系統(tǒng)。
 

◆ 微小位移傳感器

  • VE系列 電容式傳感器

  • VS系列 渦電流式傳感器

 

◆ 變換器

  • VT-510模擬式變換器(VE系列用)

製品寫真(VE/VSシリーズギャップディテクタ)

◆ 顯示器

CL系列顯示器有兩種型號(hào),CL-2400是用于導(dǎo)體、半導(dǎo)體測(cè)量,CL- 6200用于導(dǎo)體、半導(dǎo)體及絕緣體測(cè)量。這兩種型號(hào),可廣泛應(yīng)用于硅晶片、鐵板、膠片、玻璃板等。與各種傳感器配套,可測(cè)量0.1 μm ~99.9999mm (導(dǎo)體?半導(dǎo)體測(cè)量時(shí))及0.1 μm~5.000mm (絕緣體測(cè)量時(shí))。

 

  • CL-2400導(dǎo)體?半導(dǎo)體用測(cè)厚儀

  • CL-6200導(dǎo)體?半導(dǎo)體?絕緣體用測(cè)厚儀(預(yù)定生產(chǎn))

 ■ 靜電電容式微小位移傳感器工作原理

 

VE系列微小位移傳感器是利用傳感器與被測(cè)物的靜電容量變化來測(cè)量位移的。靜電容量是導(dǎo)體的對(duì)向面積S、間隙D等的函數(shù)。當(dāng)對(duì)象導(dǎo)體(傳感器與被測(cè)物)是平行平板時(shí),如上圖所示,由靜電容量測(cè)出間隙(位移)由于c與d成反比例關(guān)系,當(dāng)靜電量很小時(shí),很難保證測(cè)量結(jié)果的穩(wěn)定性,而且量程也不能太大。本公司zui近采用了新的電路,克服了這個(gè)缺點(diǎn),可作到高精度、高穩(wěn)定性的測(cè)量。

 

 ■ 渦電流式微小位移傳感器動(dòng)作原理

 

VS系列微小位移檢測(cè)器,是利用渦電流效果,由傳感器的線圈(L)和變換部的電容(C)組成LC共振回路,再用石英振蕩器將此回路造成共振狀態(tài)。根據(jù)傳感器部與被測(cè)物間的距離,被測(cè)物產(chǎn)生的渦電流損耗,與上述距離的對(duì)數(shù)成反比,而傳感器部的電感,與上述距離的對(duì)數(shù)成比例。其結(jié)果是,被測(cè)物一旦振動(dòng),共振回路的端電壓發(fā)生變化,檢測(cè)該變化信號(hào),就作為具有對(duì)數(shù)函數(shù)特性的距離信號(hào)輸出,為了使這個(gè)信號(hào)與距離線性化,附加了高性能的線性化儀。

聯(lián)系人:劉浩宇
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